真空热压机的真空泵

真空热压机具备结构紧凑、实际操作便捷等优势，应用控温操纵加热技术性，温控精准，溫度采样率为0.1s ；不锈钢板作业平台，上下边整平，热导速度更快，热导均一，加热总面积大，包含常见尺寸芯片，真空热压机全自动降温系统软件，选用水冷散热降温，降温速度均一，有运用得到不错的键合实际效果，真空热压机工作压力全自动可调式，对于不一样的原材料采用不一样的工作压力操纵；真空热压机选用与众不同的真空泵压合系统软件，在确保芯片不毁坏的状况下大大提高键合通过率：鉴于油式旋片泵在真空压合工艺中存在着现在看来极为严重的缺陷（能耗高、维护量大，性能衰减快），那么，近几年来，该行业越来越被业主所青睐的水环真空机组已是大势所趋。
主要原因有：
1、水环泵无摩擦的特殊结构（泵体和叶片间为非接触）、无耗材，维护成本极低；
2、水环泵对抽气介质的高温相对不敏感；
3、水环泵对抽气介质中的杂质不敏感；
4、当水环泵与罗茨泵组合使用时其能耗低（即单位功率所产生的气量大），并且在每次保压结束时可以同时停泵（而油式旋片泵的情况却是每次保压结束后仍要空转15分钟），故其运行成本也相对较低。
在真空压合工艺使用罗茨水环真空机组 ，维护成本极低