ULVAC蒸发装置

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产品详情

ULVAC蒸发装置

高速型真空蒸发装置

VPC-1100

VPC-1100（高速型）

极限压力	1.3X10^-4(使用液氮时)
排气时间	10分钟内可从大气压抽至10^-4Pa（使用液氮时）
玻璃罩	PYREX制耐热玻璃 φ390mm×H350�mm
蒸发用电源	0〜10V　MAX150A
排气系统	6英吋D.P.1100L/sec扩散泵(ULK-060A) GLD-201A 2台　400L/min 6英寸液氨冷阱
操作系统	排气手动操作
压力测定系统	皮拉尼真空计 GP-1S
电源	3φ　200V　5kVA 1φ　100V　1kVA
所要水量	200kPa1.5L/min（水温：20℃、水圧：200〜300kPa）
重量	约45kg
外形尺寸	325mm(长)×450mm(宽)×700mm(高)
附属品	3φ200V带包层接头4m 1φ 100V 带地线、带电容器

*另有丰富的选购件。详情请参考样本。
*还有涡轮分子泵、涡选型干泵可供选择。情闻讯。

小型高真空蒸发装置

VPC-060/VPC-060V/VPC-260/VPC-410

VPC-060（空冷型）

极限压力	6.6X10^-4(使用液氮时)
排气时间	20分钟内抽至1.3X10^-3Pa(使用液氮时)
蒸发用电源	0〜10V　MAX150A
所要电力	100V１φ0.6kVA(主机) 200V１φ2.0kVA(蒸发用电源)
蒸发电极	1点式
重量	22kg
外形尺寸	350mm(长)×320mm(宽)×662mm(高)
选购件	1．夹具 2．钟罩套 3．油雾过滤器(OMT-050A) 4．真空计 *请根据用途挑选选购件

VPC-060A（空冷自动型）

极限压力	6.6X10^-4(使用液氮时)
排气时间	20分钟内抽至1.3X10^-3Pa(使用液氮时)
蒸发用电源	0〜10V　MAX150A
所要电力	100V１φ0.6kVA(主机) 200V１φ2.0kVA(蒸发用电源)
蒸发电极	1点式
重量	22kg
外形尺寸	350mm(长)×320mm(宽)×662mm(高)
选购件	1．夹具 2．钟罩套 3．油雾过滤器(OMT-050A) 4．真空计 *请根据用途挑选选购件

VPC-060

VPC-260F（空冷型）

极限压力	6.6X10^-4(使用液氮时)
排气时间	20分钟内抽至1.3X10^-3Pa(使用液氮时)
蒸发用电源	0〜10V　MAX150A
所要电力	100V１φ1.35kVA(主机) 200V１φ2.0kVA(蒸发用电源)
蒸发电极	1点式
重量	75kg
外形尺寸	530mm(长)×480mm(宽)×1135mm(高)
选购件	1．2点式蒸发电极 2．特殊2点式蒸发电极 3．3点式蒸发电极 4．钟罩套 5．钟罩升降机构 6．金属钟罩ABCD型 7．基板加热组（〜350℃MAX） 8．石墨电极器 9．内部夹具 10．油雾过滤器（OMT-100A） 11．排气口过滤器（OMI-100） 12．真空计 *请根据用途挑选选购件

VPC-410（水冷型）

极限压力	6.6X10^-4(使用液氮时)
排气时间	8分钟内抽至1.3X10^-3Pa(使用液氮时)
蒸发用电源	0〜10V　MAX150A
所要电力	200V３φ1.35kVA(主机) 200V１φ2.0kVA(蒸发用电源)
蒸发电极	1点式
所要水量	2L/min
重量	80kg
外形尺寸	530mm(长)×480mm(宽)×1180mm(高)
选购件	1．2点式蒸发电极 2．特殊2点式蒸发电极 3．3点式蒸发电极 4．钟罩套 5．钟罩升降机构 6．金属钟罩ABCD型 7．基板加热组（〜350℃MAX） 8．石墨电极器 9．内部夹具 10．油雾过滤器（OMT-200A） 11．排气口过滤器（OMI-200） 12．真空计 *请根据用途挑选选购件